Каталог продукции
Спектрометры и спектрометрические системы
Оптические зонды






Вакуумные вводы

Вакуумные вводы предназначены для ввода и вывода излучения из вакуумных камер.


Вакуумные вводы VFT

Вакуумные вводы VFT Вакуумные вводы VFT могут применяться в условиях сверхвысокого вакуума, в том числе для оптического контроля за обработкой полупроводников и нанесением тонких пленок.

  • Вакуумные вводы подходят для использования в корпусах NEMA и при высоком давлении
  • Вакуум до 10–10 торр
  • Рабочая температура до 350 °C
  • Улучшенные характеристики за счет контакта стекла с металлизированным оптическим волокном

Надежное металлостеклянное уплотнение позволяет использовать вакуумные вводы VFT в условиях сверхвысокого вакуума. Каждый ввод испытывается и сертифицируется на давление 10–10 торр и температуру до 350 °C.

Помимо обработки полупроводников и нанесения тонких пленок, электрические вакуумные вводы VFT идеально подходят для климатических испытаний, фармацевтического и оптического производства (нанесение оптических покрытий). Их можно использовать в установках молекулярно-пучковой эпитаксии, химического и физического осаждения в вакууме. Наконец, они великолепно подходят в качестве вводов общего назначения для корпусов NEMA, перчаточных камер и установок умеренного давления.

На сторонах высокого и низкого давления установлены разъемы SMA 905, которые позволяют легко присоединять оптические кабели, а также источники излучения, миниатюрные волоконные спектрометры и различные волоконно-оптические принадлежности производства Ocean Optics.

Вводы VFT можно вворачивать в отверстия вакуумных камер с резьбой 3/8-24 или крепить в гладкостенных отверстиях при помощи прилагаемой гайки и шайбы. Оптический кабель подключается через соединитель 21-02 SMA. Со стороны низкого давления рекомендуется использовать волокна с алюминиевым покрытием или в металлической оболочке.

Вакуумные вводы VFT выпускаются с волокнами диаметром 200, 400, 600 и 1000 мкм. Каждый ввод комплектуется двумя соединителями 21-02 SMA для подключения кабелей с разъемами SMA 905.



Модель (код товара) Описание
VFT-200-SR оптическое волокно диаметром 200 мкм, стойкое к УФ излучению
VFT-200-VIS оптическое волокно диаметром 200 мкм для видимого и ближнего ИК диапазонов
VFT-400-SR оптическое волокно диаметром 400 мкм стойкое к УФ излучению
VFT-400-VIS оптическое волокно диаметром 400 мкм для видимого и ближнего ИК диапазонов
VFT-600-SR оптическое волокно диаметром 600 мкм, стойкое к УФ излучению
VFT-600-VIS оптическое волокно диаметром 600 мкм для видимого и ближнего ИК диапазонов
VFT-1000-UV оптическое волокно диаметром 1000 мкм, стойкое к УФ излучению
VFT-1000-VIS оптическое волокно диаметром 1000 мкм для видимого и ближнего ИК диапазонов

Вакуумные вводы VFT со стандартными фланцами

Оптические разъемы Вакуумные вводы этого типа ввариваются в стандартные фланцы, используемые в вакуумных камерах. Выпускаются вводы с фланцами четырех типов: ISO KF40, KF16 и Conflat 2.75", 1.33".

  • «Хирургическая» нержавеющая сталь
  • Рабочая температура до 300 °C
  • Сертифицированы на давление до 10–10 торр

Фланцы вытачиваются из нержавеющей стали «хирургической» категории, применяемой в медицинском оборудовании и инструментах. Металлостеклянное уплотнение обеспечивает рабочую температуру до 300 °C. Каждый ввод испытывается и сертифицируется на давление 10–10 торр.
Вакуумные вводы выпускаются с волокнами различных диаметров и типов (UV-VIS или VIS-NIR). Каждый ввод комплектуется двумя соединителями 21-02 SMA для подключения кабелей с разъемами SMA 905.


Фланцы Conflat 1.33"


Модель (код товара) Описание
VFT-200-UV-133 волокно 200 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-200-VIS-133 волокно 200 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны
VFT-400-UV-133 волокно 400 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-400-VIS-133 волокно 400 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны
VFT-600-UV-133 волокно 600 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-600-VIS-133 волокно 600 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны
VFT-1000-UV-133 волокно 1000 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-1000-VIS-133 волокно 1000 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны

Фланцы Conflat 2.75"


Модель (код товара) Описание
VFT-200-UV-275 волокно 200 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-200-VIS-275 волокно 200 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны
VFT-400-UV-275 волокно 400 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-400-VIS-275 волокно 400 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны
VFT-600-UV-275 волокно 600 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-600-VIS-275 волокно 600 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны
VFT-1000-UV-275 волокно 1000 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-1000-VIS-275 волокно 1000 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны

Фланцы ISO KF16


Модель (код товара) Описание
VFT-200-UV-16 волокно 200 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-200-VIS-16 волокно 200 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны
VFT-400-UV-16 волокно 400 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-400-VIS-16 волокно 400 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны
VFT-600-UV-16 волокно 600 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-600-VIS-16 волокно 600 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны
VFT-1000-UV-16 волокно 1000 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-1000-VIS-16 волокно 1000 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны

Фланцы ISO KF40


Модель (код товара) Описание
VFT-200-UV-40 волокно 200 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-200-VIS-40 волокно 200 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны
VFT-400-UV-40 волокно 400 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-400-VIS-40 волокно 400 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны
VFT-600-UV-40 волокно 600 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-600-VIS-40 волокно 600 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны
VFT-1000-UV-40 волокно 1000 мкм, УФ и видимый диапазоны
VFT-1000-VIS-40 волокно 1000 мкм, видимый и ближний ИК диапазоны